體積電阻率表面電阻率測試儀的測量方法和精度：

　　1、方法：測量高電阻常用的方法是直接法和比較法。

 

　　直接法是測量加在試樣上的直流電壓和流過試樣的電流而求得試樣電阻。直接法主要有檢流計法和直流放大法（高阻計法）比較法主要有檢流計法和電橋法。

 

　　2、精度：對于大于10的10Ω的電阻，儀器誤差應在±20%的范圍內；對于不大于10的10Ω的電阻，儀器誤差應在±10%的范圍內。

 

　　3、保護：測量儀器用的絕緣材料一般只具有與被測材料差不多的性能。

 

　　本儀器是同時測出電阻兩端的電壓V和流過電阻的電流I，通過內部的大規模集成電路完成電壓除以電流的計算，然后把所得到的結果經過A/D轉換后以數字顯示出電阻值，即便是電阻兩端的電壓V和流過電阻的電流I是同時變化，其顯示的電阻值不象普通高阻計那樣因被測電壓V的變化或電流Ｉ的變化而變，所以，即使測量電壓、被測量電阻、電源電壓等發生變化對其結果影響不大，其測量精度很高，從理論上講其誤差可以做到零，而實際誤差可以做到千分之幾或萬分之幾。